鍍膜夾具的定義

創(chuàng)闊金屬小課堂開課啦，這次來分享什么是鍍膜夾具。

鍍膜夾具也稱：被銀夾具、SMD被銀夾具、微調(diào)片被銀夾具、掩膜夾具、晶片掩膜夾具等等。鍍膜夾具是用不銹鋼SUS430、SUS304、SUS301、SUS316等金屬不銹鋼材料經(jīng)過化學(xué)蝕刻加工以及真空擴散焊接而成的晶片清洗和真空鍍膜用的一種夾具。鍍膜夾具是石英晶體或晶片的雙面濺射的裝置，也可以稱為掩膜夾具，它包括真空腔體、真空抽氣機組、工件架、磁控濺射靶、射頻等離子清洗器和惰性氣體充氣器，所述真空抽氣機組和惰性氣體充氣器分別與真空腔體相連，其特征在于所述真空腔體中設(shè)有工件架，該工件架能轉(zhuǎn)動，所述工件架上安裝有能翻轉(zhuǎn)的基片架，所述基片架上設(shè)有載片盤，所述載片盤上設(shè)置有石英晶體片和掩膜片，工件架的一側(cè)至少設(shè)置兩個帶擋膜罩的磁控濺射靶，另一側(cè)設(shè)置一個射頻等離子在線清洗器，其中一個磁控濺射靶為過渡層濺射靶，其它磁控濺射靶為電極層濺射靶。掩膜夾具通常的綜合厚度都在1.0mm以上，雙面都有不同形狀和深度的腔體，制作時通常是分層蝕刻，然后通過真空擴散焊接的方式把板子貼合在一起，這樣一個成品就完成了。

         鍍膜夾具由于其特別的材料性能和焊接性能，廣泛應(yīng)用于各種晶體元件在真空環(huán)境中的掩膜和清洗裝置設(shè)備中。